1、X向横梁：采用精密斜梁技术2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构3导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度6控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能
规格
测量范围（㎜）
外形尺寸（㎜）
测量精度
*大载重（ Kg ）
整机重量（ Kg ）
X
Y
Z
空间示值误差
MPE E （ μm ）
探测误差
MPE P （ μm ）
CMF575
500
700
1150
1320
2570
2.8+L ／ 250
3.2
1500
CMF8107
800
1000
1450
1900
3000
3.2 +L/250
3.5
2400
CMF8157
1200
CMF10128
1650
2100
3250
3.5 ﹢ L ／ 250
3.8
2900
CMF10158
1350
3300
CMF10208
2000
4200
CMF12158
1850
4.2 ﹢ L ／ 250
4.5
1400
3800
CMF12208
1600
4500
CMF101510
3700
3500
CMF102010
4300