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产品名称:
AW40-04BG,SMC大流量型精密减压阀
产品型号:
AW40-04BG
产品展商:
SMC
关注指数:497
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简单介绍
AW40-04BG,SMC大流量型精密减压阀
耐压试验压力
使用压力
1) 设定压力范围
2) 压力表连接口径
环境温度及使用流体温度
AW40-04BG,SMC大流量型精密减压阀
的详细介绍
AW40-04BG,SMC大流量型精密减压阀
列/CAD 使用压力范围 (Pa) 使用流体 门尺寸
(高×宽) (mm) 动作压力
XGT 大气压~1×10-6 惰性气体系的真空 32×222
50×336 0.45~0.6
特长 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
同时具有多种规格的场合,按数字及字母顺序排列表示。
注5)和标准规格的区别仅调压弹簧不同。0.2MPa以上压力不能设定。
注6)没有阀的功能。
注7)螺纹种类为NPT。新计量(日本国内用SI单位)仅向海外销售。
连接口径
使用流体
过滤精度
冷凝水贮留量 (cm3)
杯材质
0.05~0.85MPa
设定压力+0.05MPa{溢流流量 0.1 /min(ANR)时}
1次侧压力(P1)比设定压力高的场合,单向阀②封闭,则为常规减压阀动作。(参见图1)。
一旦1次侧压力排空,单向阀②开启,膜片室①内的压力便从1次侧排出(参见图2)。这之后,膜片室①内的压力下降,在调压
弹簧③的作用下,膜片下推,通过阀杆,将阀芯④打开,2次侧压力便顺利地从1次侧排出(参见图3)。
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