销售神视晶圆定位传感器,SUNX晶圆定位传感器[产品打印页面]

销售神视晶圆定位传感器,SUNX晶圆定位传感器
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。
可根据传感器的设置情况灵活调节。
以往使用激光的激光式定位传感器，
激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)

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可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度 12.5±5°(注4)
晶圆间距 间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
M-DW1以反射光的位置来检测，
不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，
吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此，
对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。

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