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物理学法则告诉我们：热量总是从高温端流向低温端。所以，如果一个物体的温度高于环
器的响应时间极短，只有几百毫秒。此外，该传感器的结构确保其不易受污染物的影响。
通道中，也可安装在气体通道之外。加热元件对流过的气体进行加热，然后由温度传感器检测

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联系人：刘艳
该散发的热量与当前的质量流量存在着函数关系，而由质量流量可确定流动介质的重量，也
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就是单位时间内流过质量流量计的气体的重量。通常质量流量的单位为 kg/h、g/s 或 mol/s。与质
量流量相比较，由体积流量可确定单位时间内流过流量计的气体的体积（单位为 m3/h、l/min 或
ml/s）。但是如果要测量气体的体积，还必须要知道气体的温度和压力等其它参数。所以测量气
保持一个恒定的温差。这两个电阻都直接位于气体通道内；另外三个电阻位于气体通道之外。这
五个电阻连接成一个测量电桥。气体通道中的一个电阻 (RT) 测量介质温度，另一个低阻值电阻
RS) 不断被加热，使其与介质温度（由 RT 测得）之间始终保持一个恒定的温差。所需的加热电
流即用于测量流过该气体通道的气体流量。MFC 中合适的流量调节确保其所测得的质量流量非
**。由于加热电阻和测量电阻都直接位于气体通道内，所以当设定值或实际值变化时，该传感

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