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产品名称:
优势神视晶圆定位传感器，PX-22
产品型号:
PX-22
产品展商:
SUNX
关注指数:296
产品文档:
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简单介绍
优势神视晶圆定位传感器，PX-22
通过反射光位置而非反射光量进行检测。
可能会因光全被吸收而无法检测。
可检测涂氮晶圆
而LED光源的光具有一定波长段，
即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应
优势神视晶圆定位传感器，PX-22
优势神视晶圆定位传感器，PX-22
的详细介绍
优势神视晶圆定位传感器，PX-22
上海乾拓贸易有限公司
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联系人：周彩云
地址：上海市嘉定区江桥嘉涌路6号楼713
以往使用激光的激光式定位传感器，
基于2段受光元件的高精度位置检测
可从四个方向引出电缆
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，
吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。
可根据传感器的设置情况灵活调节。
激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
因此，对于使用单波长激光的传感器，
M-DW1以反射光的位置来检测，
不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
亦可检测玻璃晶圆
利用反射光量检测时，
反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
实现0.5ms的高速反应。
可从四个方向引出电缆
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，
质量约为75g的小巧、轻盈型。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
安全性**的LED式
亦可检测玻璃晶圆
兼顾高速反应性和高精度。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
优势神视晶圆定位传感器，PX-22
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