真空泵之离子泵·Noble泵

真空泵之离子泵·Noble泵

■概要

在磁场中使冷阴极放电，从而使被电离的气体分子埋置在阴极，同时将与阴极冲突时的阴极材料（Ti）溅射，连续制造活性吸气膜。离子泵·Noble泵· Excel泵是利用上述活动来进行排气的超高真空泵。

因为完全不使用油等有机物,所以能得到完全无油的超高真空。运转只需电力，没有机械的运动，因此无震动·无噪音。同时，即使是在突然停电或真空泄漏的情况，也不必担心会污染被排气体系统，因此在夜间无人操作时也可放心使用。Noble泵·Excel泵是将离子泵所不擅长的非活性气体的排气速度进行改善后所制造的三极型离子泵，它除了有离子泵的全部特长，与离子泵相比还能进行非活性气体的稳定排气。

另外，Excel泵通过放电条件的*适化，在极高真空领域的放电特性得到改善。