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往复式真空泵(又称活塞式真空泵)的极限真空，单级为4×102～i03Pa，双级可达1Pa，抽速范围45～20000ma／h，用于从密封的容器中抽出气体。被抽气体温度不超过35℃。如果加上辅助设备，如冷冻器，也可以抽蒸汽。往复式真空泵的排气量较大，多用于真空浸渍、钢水真空处理、真空蒸馏、真空蒸发、真空浓缩、真空结晶、真空干燥、真空过滤及混凝土的真空作业等。 往复真空泵的结构见图2-77，工作原理见图2-78。
无油往复真空泵由于采用自润滑材料的活塞环、密封环，气缸内无需加油润滑；在汽缸与机体之间加设隔油腔(其长度大于一个行程长度)，阻止机体内润滑油沿活塞杆漏入汽缸，所以该泵对被抽系统无污染。无油往复真空泵有立式和卧式两种结构。
该水泵的应用范围是：需要清洁真空的环境；在气体需要回收时，可在充气腔充入回收气体，以保证气体的纯度；当抽除易燃易爆气体时，可向隔离腔充入惰性气体，使空气(助燃剂)无法漏入汽缸，避免事故发生。
往复式真空泵对于抽除腐蚀性的气体或含有颗粒状灰尘的气体是不适用的。被抽气体中如果含有灰尘，在泵的进口处必须加装过滤器。
往复式真空泵的型式与基本参数参考JB／T 7675--2005。
