TAIKO螺杆式真空泵,是采用自主研发螺杆线性的干式真空泵，它低速转动连续排气，真空度可达到１０-1Pa。实现了极限真空度的全球*低泵浦转速.从吸气起到排气采用非接触单段压缩,螺杆式真空泵的特点是可以高效地排除空气或煤气中所含有的粉尘雾粒。螺杆式真空泵结构简单，易于保养和维修，在排除凝聚性气体，腐蚀性气体和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。
检查 、保 养 8.1 检查、保养的一般项目 (1) 为了能够尽早发现异常，防止事故的发生，并在发生问题时，用作判断的依据，请充分实施好每**的检查。实施项目请参照检查、保养一览表。 (2) 拆解保养需要每年实施一次，或每运行8000小时后实施一次，此时，请送至我公司或指定的业者来实施，返送前，请事先与您购买时的店铺或我公司的营业所取得联系。 (3) 关于特殊规格的产品，其检查、保养时期及方**有所不同，请事先联系咨询我们。 (4) 其他详细内容请参照8.3、8.4项。 8.2 润滑油脂的更换方法 (1) 油脂 a. 请根据交货规格书来对油种（品牌）、给油口、排油口进行确认。 b. 每3～6个月应停止泵，卸下给油口的塞子及油排放塞，使之完全排放干净。 c. 紧闭好油排放塞子，自给油口给油至油量尺的红色线之间，然后拧紧给油口的塞子。 (2) 含氟润滑油 每年一次进行拆解保养时，会更换掉轴承，因此仅更换含氟润滑油这样的步骤是无需进行的。